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2025年1月23日,无锡芯汉电子科技有限公司(以下简称“芯汉电子”)获得了一项重要专利,名为“便于放置晶圆的聚焦支撑环”。这一专利的授权公告号为CN222320234U,申请时间为2023年12月,标志着该公司在晶圆制造技术领域的一次重要突破。
该专利的核心在于提供一种新型的聚焦支撑环,旨在解决晶圆在刻蚀机等设备中放置稳定的问题。随着半导体行业的发展,晶圆的精密加工对设备的稳定性和操作精确性提出了更高的要求。传统的支撑系统常常导致晶圆在放置过程中不易固定,甚至有可能导致划伤或损坏,这是行业内难以回避的技术难题。
根据专利摘要,该支撑环设计采用多种限制块,固定设置在支撑环本体上,可以有明显效果地限制晶圆在水平方向的移动。限制块的贴靠面与晶圆侧边密闭贴靠,避免了晶圆在放置时产生的晃动和滑动,使得晶圆在刻蚀过程中的对位更为精准。这一设计不仅提高了支撑系统的稳定性,同时也增强了晶圆在生产流程中的安全性,减少了因为不当放置而导致的损失。
芯汉电子成立于2013年,是一家专注于研究和技术创新的企业。随着半导体行业竞争的加剧,围绕晶圆加工的各项技术正在慢慢的提升。芯汉电子的这一发明标志着其在此领域日益积累的技术实力和市场前景。
除了技术创新外,芯汉电子在知识产权方面也积极布局。目前,企业具有多项专利及商标,反映出其不断推动技术进步与产业升级的决心。这次新专利的获得,无疑将推动公司在半导体设备制造领域的地位,增强其市场竞争力。
在半导体行业竞争愈发激烈的环境下,各企业纷纷加大研发技术力度。新技术的应用不仅提升了产品的性能和稳定能力,还推动了整个行业的进步。晶圆支撑环的创新将为更多设备制造商和客户提供新的解决方案,逐步优化生产的基本工艺,提升产品质量。
未来,随着对半导体技术不断深耕,芯汉电子可能会推出更多有关产品和技术,来满足市场对高精度和高效能设备的需求。同时,这一新专利也可能激发别的企业对晶圆加工技术的研发投入,形成良性的产业链竞争局面。
总之,芯汉电子此次专利的取得,不仅展示了其在晶圆放置技术领域的创新能力,同时也为未来半导体设备的发展提供了新的思路。随技术的发展和市场需求的变化,行业未来的前景值得期待。
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